離子真空鍍膜機(jī)鍍膜是屬于弧光放電，如將輝光放電的限流電阻減小，則放電電流增大，并轉(zhuǎn)入電弧放電。電弧放電的特點(diǎn)是電流密度大而極間電壓低，其自持依賴于新的電子發(fā)射機(jī)制，即熱發(fā)射和冷發(fā)射。熱發(fā)射是因正離子轟擊陰極出現(xiàn)局部高溫而產(chǎn)生的；冷發(fā)射則是因陰極表面存在局部強(qiáng)電場而引起的。前者稱為熱電子電弧，后者稱為冷陰極電弧。作為強(qiáng)光源的碳極電弧就是熱電子電弧；電力工業(yè)用的汞弧整流管則利用冷陰極電弧。
離子真空鍍膜機(jī)電弧放電的一個(gè)重要特點(diǎn)是陰極上有陰極輝點(diǎn)。熱電子電弧的輝點(diǎn)一般是固定不動(dòng)的；冷陰極電弧如汞弧整流管液汞表面上的輝點(diǎn)是跳躍移動(dòng)的。陰極輝點(diǎn)是電子發(fā)射的來源，其電流密度高達(dá)數(shù)百至數(shù)千安/厘米2。電弧放電的伏安特性隨電極材料、氣體種類、壓力而異。大氣中的碳極電弧呈現(xiàn)出典型的負(fù)阻特性，因此外電路中必須串有限流電阻，以穩(wěn)定電流。電弧放電產(chǎn)生強(qiáng)烈的輻射，其強(qiáng)度隨氣體壓力和電流密度而增大。放電區(qū)中溫度最高點(diǎn)在一個(gè)大氣壓下約為4200K，在10個(gè)大氣壓下為6520K，在幾十或幾百大氣壓下達(dá)10000K。碳極電弧是最早的強(qiáng)光光源。各種高氣壓放電燈如高氣壓汞燈、氙燈、鈉燈，是在管泡內(nèi)進(jìn)行電弧放電的光源。電弧焊接、電弧切割在工業(yè)上有廣泛應(yīng)用；電弧的高溫可作為電爐的熱源。
