超厚多元合金涂層和超厚氮化物涂層,連續(xù)沉積多元合金涂層厚度可達(dá)120um以上,實(shí)現(xiàn)單靶三維旋轉(zhuǎn)≥6.5um/h,連續(xù)沉積氮化物涂層25um以上,實(shí)現(xiàn)單靶三維旋轉(zhuǎn)≥3um/h,提高了工件表面的硬度,為航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片修復(fù)、汽輪機(jī)葉片邊緣的沖蝕問(wèn)題提供了新的解決方案。
功能涂層設(shè)備應(yīng)用
超厚多元合金涂層和超厚氮化物涂層,連續(xù)沉積多元合金涂層厚度可達(dá)120um以上,實(shí)現(xiàn)單靶三維旋轉(zhuǎn)≥6.5um/h,連續(xù)沉積氮化物涂層25um以上,實(shí)現(xiàn)單靶三維旋轉(zhuǎn)≥3um/h,提高了工件表面的硬度,為航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片修復(fù)、汽輪機(jī)葉片邊緣的沖蝕問(wèn)題提供了新的解決方案。