High precision Magnetron Sputtering Optical Coating Machine 高精密磁控濺射光學鍍膜機
采用ICP輔助磁控濺射的光學膜層低吸收和低應力，加工各類帶通膜和截止膜，如人臉識別（Face ID），中遠紅外高透膜；磁控濺射各類金屬Cu，Al，Cr，Au，Ag，SUS等，工藝開發改善深孔鍍膜，鍍膜層具有優異的臺階覆蓋性能，應用于MEMS芯片封裝。
優勢：
?兼容4~12英寸的自動化基材傳輸系統
?工藝過程中實時基于基材直接監控
?清潔環境沉積薄膜點缺陷少
?沉積工藝穩定，薄膜具有高重復性
?快速換靶，維護保養便捷
