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HCEB系列

電子束蒸發

大型光學鍍膜機

LARGE E-BEAM OPTICAL COATING MACHINE
真空應用解決方案提供商
首頁 > 光學設備 > 大型電子束蒸發光學鍍膜機
LARGE ELECTRON BEAM OPTICAL COATING EQUIPMENT 大型電子束蒸發光學鍍膜機

      配備電子槍、穴型、腰型或環形坩堝,阻抗式蒸發源;配置光學膜厚控制儀或石英晶體膜厚控制儀,可實現成膜速度和鍍膜過程的自動控制;可選射頻RF/考夫曼型/霍爾型離子源。

      該系列的開發是為了滿足面向大規模生產的市場需求,設備經過生產驗證,高生產率,最低的擁有成本大批量光學元件成本優化生產。可制備AR、UV/IR截止濾光片、AF、硬質膜、裝飾膜、ITO膜 、帶通濾光片、HR膜等。

AR 膜(基材玻璃透過率>91.5%):
■  420-680nm波段,單面平均透過率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
■  雙面平均透過率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;

AS/AF膜測試標準:
■   初始接觸角范圍為 115±5°;
■   鋼絲絨耐摩擦測試標準:用 0000#鋼絲絨,面積為 10*10mm,行程 40 次/分,負載1Kg,5000 次往返摩擦后,接觸角大于 100°;
■   橡皮擦測試標準: 直徑 6mm 橡皮擦,行程 25 次/分,負載1Kg, 2500 次往返摩擦后,接觸角大于 100°;
備注:測試樣片玻璃需為經過精密拋光過的觸摸屏蓋板專用玻璃,表面光潔。


優勢:

?蒸鍍AR / AF涂層
?生產能力更強
?生產成本更低
?全自動化功能以及完整的數據記錄功能
?光學監控提高過程的可重復性

Product Advantage.

產品特點
HCEB系列大型電子束蒸發鍍膜機包括以下關鍵功能:
  • 高產量

    滿足規模生產的市場需求

  • 客制化

    滿足客戶需求的多種元件組合

  • 簡單

    易于操作和維護

  • 通用

    高性能、高通用性

  • 自動化

    自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程

  • 遠程訪問

    提供工廠遠程診斷

規格
型號 HCEB-2700
腔體尺寸 Φ2700 x H1850
裝載量 5.3 m2
結構 立式前開門,SUS304不銹鋼
性能
轉速 10~30RPM(可變)
抽速 大氣壓至2.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 1.0×10-4Pa
膜料 TiO2,Ti3O5,H4,ZrO2,ZnS,Al2O3,MgF2,SiO2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn...
主要配置
夾具系統 中心上旋轉傘架,自動翻轉,單體或分體
加熱系統 鹵素燈 / 鎧裝加熱器,最高250℃
排氣系統 低真空泵組 + 高真空泵組 + 低溫泵 / Polycold
真空控制系統 真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計
鍍膜系統 電子槍,穴型、腰型/環形坩堝,阻抗式蒸發源,射頻/考夫曼型/霍爾型離子源
充氣系統 MFC或APC自動壓強控制儀
膜厚控制儀 晶控或光控
控制系統 PC+PLC
應用
光學薄膜應用 AR、AS/AF、硬質膜、裝飾膜、ITO膜 、HR膜等
適用波長 380nm~780nm
注:可客制化(數據僅供參考)
規格
型號 HCEB-2350
腔體尺寸 Φ2350 x H1510
裝載量 3.8 m2
結構 立式前開門,SUS304不銹鋼
性能
轉速 10~30RPM(可變)
抽速 大氣壓至2.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 1.0×10-4Pa
膜料 TiO2,Ti3O5,H4,ZrO2,ZnS,Al2O3,MgF2,SiO2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn...
主要配置
夾具系統 中心上旋轉傘架,自動翻轉,單體或分體
加熱系統 鹵素燈 / 鎧裝加熱器,最高250℃
排氣系統 低真空泵組 + 高真空泵組 + 低溫泵 / Polycold
真空控制系統 真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計
鍍膜系統 電子槍,穴型、腰型/環形坩堝,阻抗式蒸發源,射頻/考夫曼型/霍爾型離子源
充氣系統 MFC或APC自動壓強控制儀
膜厚控制儀 晶控或光控
控制系統 PC+PLC
應用
光學薄膜應用 AR、AS/AF、硬質膜、裝飾膜、ITO膜 、HR膜等
適用波長 380nm~780nm
注:可客制化(數據僅供參考)
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